microVEGA™ xMR

Selektives Laser-Annealing-System für die Magnet-Sensor-Fertigung

Laser Focus World Innovation Award

2022 wurde die microVEGA xMR mit dem Laser Focus World Innovation Award ausgezeichnet.

Die microVEGA xMR ist das weltweit erste industrielle Produktionssystem für selektives Laser-Annealing in der Magnet-Sensor-Fertigung. Die microVEGA xMR ist dabei so flexibel konfigurierbar, dass sie sowohl in der Fertigung von GMR-Sensoren (GMR – Giant Magneto Resistance, Riesenmagneto-Widerstand) als auch in der Herstellung von TMR-Sensoren (TMR – Tunnel Magneto Resistance, magnetischer Tunnelwiderstand) eingesetzt werden kann.

Die Vorteile des microVEGA xMR-Systems liegen in einer sehr kosteneffizienten Fertigung monolithisch integrierter Sensorchips in nur einem Produktionsschritt. Der im Tool eingesetzte On-the-Fly-Laserspot ist in Geometrie und Pulsenergie flexibel an verschiedene Magnetsensoren adaptierbar. Die Anpassung an Sensor-Positionen und ‑Abmessungen sowie verschiedene Magnetfeld-Orientierungen erfolgt dabei im Rahmen sogenannter Rezepte. All dies macht die microVEGA xMR zu einem idealen Werkzeug für das Laser-Pinning in der Magnet-Sensor-Herstellung.

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Frank Richter
Tel: +49 371 40043-222
sales@3d-micromac.com

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