microVEGA™ xMR

Selektives Laser-Annealing-System für die Magnet-Sensor-Fertigung

Die microVEGA™ xMR ist das weltweit erste industrielle Produktionssystem für selektives Laser-Annealing in der Magnet-Sensor-Fertigung. Die microVEGA™ xMR ist dabei so flexibel konfigurierbar, dass sie sowohl in der Fertigung von GMR-Sensoren (GMR – Giant Magneto Resistance, Riesenmagneto-Widerstand) als auch in der Herstellung von TMR-Sensoren (TMR – Tunnel Magneto Resistance, magnetischer Tunnelwiderstand) eingesetzt werden kann.

Die Vorteile des microVEGA™ xMR-Systems liegen in einer sehr kosteneffizienten Fertigung monolithisch integrierter Sensorchips in nur einem Produktionsschritt. Dies wird möglich durch den Einsatz eines On-the-Fly-Laserspots, der in Geometrie und Pulsenergie flexibel an verschiedene Magnetsensoren adaptierbar ist. Die Anpassung an Sensor-Positionen und ‑Abmessungen sowie verschiedene Magnetfeld-Orientierungen ist allein durch Ändern von Rezepten möglich. All dies macht das Laser-Pinning-System von 3D-Micromac zu einem idealen Werkzeug für die Magnet-Sensor-Bearbeitung.

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Markus Müller
Tel: +49 371 40043-222
sales@3d-micromac.com

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