microPREP™ PRO

Laserbasierte Probenbearbeitung für die Mikrostrukturdiagnostik

Die microPREP™ PRO wurde mit dem Ziel entwickelt, die Prozesse in der Materialanalytik zu beschleunigen. Durch den Einsatz eines Ultrakurz-Puls-Lasers können Proben effektiv sowie kostengünstige präpariert werden.

Dieser Ansatz ermöglicht die Erstellung komplexer Proben oder 3D-Geometrien. Die Flexibilität des Laserprozesses erlaubt die umfassende Analyse tiefliegender Strukturen wie das Freilegen von Kontaktierungen (z.B.: Through-Silicon-Vias – TSVs) oder den gezielten Abtrag bzw. Freilegen von Leiterbahnen in Halbleiterstrukturen (z.B. Systems-in-Packages – SiP).

Darüber hinaus können größere Proben mit einer Genauigkeit im Mikrometerbereich direkt bearbeitet werden. Die integrierte Übersichtskamera vereinfacht dabei die Navigation auf größeren Proben und die hochauflösende Prozesskamera sorgt für eine genaue Positionierung. Durch die Verwendung eines Pikosekundenlasers wird die strukturelle Schädigung deutlich reduziert und eine Kontamination des Materials vermieden. Mit der microPREP™ PRO können deutlich höhere Abtragsraten als bei ionenstrahlbasierten Verfahren realisiert werden.

Die modular aufgebaute microPREP™-Software gewährleistet eine hohe Flexibilität bei der Bearbeitung von Proben für eine Vielzahl von Analytik-Methoden. Auf Basis von bereitgestellten sowie selbst erstellten Prozessen (Rezepten) eignet sich die microPREP™ PRO bestens zur Vorbereitung von Proben für die:

  • Transmissionselektronenmikroskopie (TEM),
  • Rasterelektronenmikroskopie (REM),
  • 3D-Röntgenmikroskopie (XRM),
  • Atom-Sonden-Tomographie (APT) sowie
  • Mikromechanik.

Durch die fortlaufende Weiterentwicklung ergeben sich immer neue Aufgabengebiete, bei denen die microPREP™ PRO bei der Abarbeitung von Materialanalysen unterstützen kann. Neben der reinen Bearbeitung von Proben kann auch eine Markierung zur besseren Verfolgbarkeit eingebracht werden.

Kontakt

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Boris Rottwinkel
Tel: +49 371 40043-222
sales@3d-micromac.com

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