microPREP™

Laserbasierte Probenbearbeitung für die Mikrostrukturdiagnostik

Das neue microPREP™ System wurde entwickelt, um auf die hohen Anforderungen in der Mikrostruktur- und Fehlerdiagnose zu reagieren. Durch den Einsatz eines Laserprozesses wird eine effiziente und zeitsparende Bearbeitungsmethode zur Vorbereitung dieser Materialproben bereitgestellt.

Das modulare Softwaredesign des microPREP™ Systems ermöglicht dabei eine hohe Flexibilität in der Bearbeitung diverser Proben für eine Vielzahl von Diagnostikmethoden. Neben der Bereitstellung von Rezepten und der Möglichkeit, Proben zur einfachen Nachverfolgung zu markieren, bietet dieses laserbasierte System deutlich höhere Abtragsraten im Vergleich zu ionenstrahlbasierten Verfahren.

3D-Micromac´s microPREP™ eignet sich zur Vorbereitung von Proben für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM), Rasterelektronenmikroskopie (REM), 3D-Röntgenmikroskopie (XRM), Atom-Sonden-Tomographie (APT) sowie für die Erstellung von individuellen Proben für mikromechanische Tests.

Für den Einsatz in hochvolumigen Präparationsanwendungen, bei denen mehrere Positionen auf einer Probe angefahren werden müssen oder spezifische Anforderungen an die Probe, wie z.B. Rundheit, gestellt werden, steht die microPREP™ auch als PRO Version zur Verfügung. Dieses System ermöglicht den Einsatz von motorisierten Probenhaltern und erweitert damit die Einsatzmöglichkeiten der microPREP™. Dies umfasst z.B. auch die Möglichkeit einer Reinigung der Probe während des Prozesses bzw. nach einzelnen Prozessschritten. Die microPREP™ PRO ist daher bestens für die Analyse komplexer 3D-Strukturen (Advanced Packages) geeignet. Darunter zählen beispielhaft die Überprüfung von Silizium-Durchkontaktierungen/Through-Silicon-Vias (TSVs) oder die Analyse kompletter Systems-in-Package (SiP).

Kontakt

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Boris Rottwinkel
sales@3d-micromac.com

Fachpublikationen

2018

TEM sample preparation workflow using laser ablation and broad ion beam milling.
2018, Poster, IMC19, Takanori Sato, Jacob Byrnes, Australian Centre for Microscopy & Microanalysis, The University of Sydney.

A combined laser ablation/focused ion beam approach to atom probe sample preparation.
2018, Poster, IMC19, Jacob Byrnes, Ingrid McCarroll, Katja Eder, Limei Yang, Julie Cairney, The University of Sydney.