microVEGA™ xMR

2022 wurde die microVEGA xMR mit dem Laser Focus World Innovation Award ausgezeichnet.

Die microVEGA xMR ist das weltweit erste industrielle Produktionssystem für selektives Laser-Annealing in der Magnet-Sensor-Fertigung. Die microVEGA xMR ist dabei so flexibel konfigurierbar, dass sie sowohl in der Fertigung von GMR-Sensoren (GMR – Giant Magneto Resistance, Riesenmagneto-Widerstand) als auch in der Herstellung von TMR-Sensoren (TMR – Tunnel Magneto Resistance, magnetischer Tunnelwiderstand) eingesetzt werden kann.

Die Vorteile des microVEGA xMR-Systems liegen in einer sehr kosteneffizienten Fertigung monolithisch integrierter Sensorchips in nur einem Produktionsschritt. Der im Tool eingesetzte On-the-Fly-Laserspot ist in Geometrie und Pulsenergie flexibel an verschiedene Magnetsensoren adaptierbar. Die Anpassung an Sensor-Positionen und ‑Abmessungen sowie verschiedene Magnetfeld-Orientierungen erfolgt dabei im Rahmen sogenannter Rezepte. All dies macht die microVEGA xMR zu einem idealen Werkzeug für das Laser-Pinning in der Magnet-Sensor-Herstellung.