3D-Micromac stellt Selektives Laser-Annealing-System zur Fertigung von Halbleitern, Leistungselektronik und MEMS vor

Chemnitz, Deutschland, 26. Juni 2018—Die 3D-Micromac AG, der führende Anbieter für Systeme in der Lasermikrobearbeitung und Rolle-zu-Rolle-Laserbearbeitung für die Photovoltaikindustrie, die Medizintechnik und die Elektronikfertigung,  stellt heute das neue System microPRO RTP zum selektiven Laser-Annealing vor, welches für die Fertigung von Halbleitern, Leistungselektronik und MEMS konzipiert ist. Durch den Einsatz eines DPSS Lasers in Kombination mit einem hochmodernen Laseroptik-Modul und der modularen Halbleiter-Plattform von 3D-Micromac ermöglicht das microPRO RTP-Lasersystem ein äußerst selektives Annealing bei hoher Wiederholgenauigkeit und hohem Durchsatz.

Das microPRO RTP-System beinhaltet eine Linienscan-Option zum vertikalen, selektiven Annealing oder eine Step-and-Repeat-Spot-Option zum horizontalen, selektiven Annealing und zudem drei optionale Laserwellenlängen (Infrarot, Grün und Ultraviolett). Das microPRO RTP-System eignet sich für zahlreiche Anwendungen, einschließlich:

• Aktivierung von Dotierstoffen, z.B. für IGBT-Transistoren zur Aktivierung rückseitenbelichteter (BSI) CMOS-Bildwandler und für amorphes Silizium (a-Si) – Das microPRO RTP System nutzt hierfür ein High Speed-Linienscan-System mit exzellenter Homogenität und Reproduzierbarkeit, um die Feldsperrschicht genau lokalisieren zu können. So wird die Wärmeübertragung auf der Wafer-Vorderseite minimiert.
• Erzeugung ohmscher Kontakte in Siliziumkarbid-Leistungsbauelementen (SiC) zur Verbesserung des Widerstands – mittels Spot-Scan und kurzen Laserpulsen bearbeitet das microPRO RTP-System die komplette Metallrückseite der SiC-Wafer. Die Erzeugung großer Kohlenstoffcluster und die hitzebedingte Schädigung der Vorderseite des Wafers werden dabei vermieden.
• Herstellung von Giant Magneto Resistive (GMR)- und Tunneling Magneto Resistive (TMR)-Sensoren – mittels selektivem Step-and-Repeat-Spot und variabler Laserenergie erhitzt das microPRO RTP-System ausgewählte Funktionsbereiche des Sensors, um in diesen MEMS-Sensortypen Magnetfelder zu erzeugen und auszurichten.