Kooperation der TESCAN ORSAY Holding, a.s. und der 3D-Micromac AG zur Steigerung der Effizienz von Workflows zur Fehleranalyse

Die Synergie zwischen beiden Unternehmen in den gemeinsamen Geschäfts- und Entwicklungsaktivitäten schafft eine solide Basis für erhebliche Zeit- und Kosteneinsparungen bei den Fehleranalyse-Workflows (FA) im Vergleich zum Standardansatz.

Chemnitz, Deutschland, 18. Dezember 2020 – TESCAN, eines der führenden Unternehmen für Ladungsteilchenoptiken, 4D-Mikro-CTs sowie Speziallösungen, und die 3D-Micromac AG, ein international führender Anbieter für Systeme in der Lasermikrobearbeitung, geben ihre Zusammenarbeit mit dem gemeinsamen Ziel effizientere Lösungen für die Fehleranalyse und Materialdiagnostik bereitzustellen, bekannt. Der TESCAN Large Volume Workflow ermöglicht es, durch die Einbindung des microPREP™ PRO Systems von 3D-Micromac, den jeweiligen Untersuchungsbereich (ROI) in Materialproben innerhalb weniger Minuten und ohne großen Aufwand zu erreichen, um Fehler zu diagnostizieren, welche in funktionellen Materialien und Bauteilen zu Defekten führen und hohe Kosten verursachen.

Derzeit werden Proben von Metallen, Halbleitern, Keramiken und Verbundmaterialien unter Verwendung fokussierter Ionenstrahlen (FIB) analysiert. TESCANs Plasma FIB-REM wird im gesamten Marktsegment der Halbleiter- und Automobilindustrie sowie der Luft- und Raumfahrt als branchenerprobte Lösung eingesetzt. Dennoch ist ein stetig zunehmender Bedarf an großvolumigen Materialabtrag zu erkennen, wenn die Fehleranalyse an tiefer im Material liegenden ROIs oder sehr großen Querschnitten durchgeführt werden soll.

„Wir bei TESCAN freuen uns, die Bearbeitungszeit für anspruchsvolle Fehleranalyseaufgaben erheblich zu verringern, noch größere Volumina analysieren zu können und einen viel produktiveren Workflow für industrielle FA-Umgebungen zu schaffen. Wir sehen ein starkes Potenzial, um weitere Synergien zwischen TESCAN und dem 3D-Micromac-Portfolio sowie anderen FA-Tools in den FA-Labors zu schaffen“, sagte Jozef Vincenc Oboňa, Product Marketing Director bei TESCAN. Die typische Probenvorbereitung mit Plasma-FIB kann mehrere Stunden dauern und konzentriert sich hauptsächlich auf FA-Aufgaben mit Sub-Millimeter-Abmessungen. „Der Einsatz einer Ultrakurzpuls-Laserquelle zur Materialbearbeitung in der microPREP™ PRO ermöglicht die  Bearbeitung von FA-Proben in wenigen Minuten.“, kommentierte Tino Petsch, CEO der 3D-Micromac AG.

Die aktuelle Lösung reduziert die Zeit für die Fehleranalyse in den allermeisten Fällen um mindestens 50 Prozent, in einigen Anwendungen sogar um bis zu 95 Prozent. Durch die Verwendung der Plasma-FIB-REMs von TESCAN in Kombination mit den flexiblen Lasersystemen microPREP™ PRO von 3D-Micromac ergibt sich dadurch eine durchschnittliche Einsparung von zirka 75 Prozent der Gesamtprozesszeit. Die gemeinsame Weiterentwicklung stellt dabei sicher, dass die Plasma-FIB-REMs und das microPREP™ PRO-System nicht als alleinstehende Instrumente fungieren, sondern sich als ein integraler Bestandteil eines zeitgemäßen Ökosystems in Laboren zur Fehleranalyse etablieren.

Das Lasersystem microPREP PRO der 3D-Micromac AG zur Probenpräparation

Die hohe Ablationsrate des Lasers ermöglicht die schnelle und einfache Probenvorbereitung. Somit kann die FIB-Zeit auf ein Minimum reduziert werden.

Über TESCAN

TESCAN ist ein europäischer Hersteller von Elektronenmikroskopen mit Sitz in Brno, Tschechien. Das Unternehmen wurde 1991 von F&E-Mitarbeitern und Service-Ingenieuren der Firma TESLA mit dem Ziel gegründet, die traditionelle Produktion von Elektronenmikroskopen in Brünn fortzusetzen. TESCAN stellte 1996 sein erstes Gerät PROXIMA vor. Mit dieser und anderen Modellreihen behauptete TESCAN seinen Platz unter den renommierten Produzenten in der Welt. Die langfristige Expansion und Gründung von Tochtergesellschaften weltweit gipfelte 2013 in der Gründung einer Holding mit der französischen Firma ORSAY PHYSICS. Daraus entstand die TESCAN ORSAY HOLDING, die ihren Hauptsitz, die Produktion und einen Teil der Forschung und Entwicklung bis heute in Brno hält. Jedes TESCAN-Mikroskop wird in Brno produziert, auch wenn etwa 95 % der Produktion an Kunden in aller Welt gehen. Zu den größten Abnehmern gehören Universitäten, Forschungszentren sowie Industrie- und Produktionsunternehmen aus verschiedenen Branchen. Mehr als 500 Mitarbeiter der TESCAN ORSAY HOLDING stellen jährlich gut 300 Elektronenmikroskope her.

Weitere Informationen: www.tescan.com

Über 3D-Micromac

Die 3D-Micromac AG mit Sitz in Chemnitz ist der international führende Spezialist für die Entwicklung und Fertigung innovativer Maschinen und Anlagen zur Lasermikrobearbeitung. Das Unternehmen steht für leistungsfähige, nutzerfreundliche und zukunftsorientierte Verfahren mit größter Produktionseffizienz. Im unternehmenseigenen Applikationslabor entwickelt 3D-Micromac an den Kundenbedürfnissen ausgerichtete technologische Lösungen – von der ersten Idee über Machbarkeitsstudien sowie Prototypenentwicklung bis hin zur Serienreife. Systeme von 3D-Micromac kommen weltweit in vielen Hightech-Branchen erfolgreich zum Einsatz, so etwa in der Photovoltaik-, Halbleiter-, Glas- und Display-Industrie, in der Mikrodiagnostik und in der Medizintechnik. Als eines der ersten Unternehmen weltweit hat 3D-Micromac Ultrakurzpulslaser zur Materialbearbeitung eingesetzt. Ein weiterer Anwendungsschwerpunkt sind Excimerlaser für die Mikrobearbeitung – mehr als 100 Excimerlaser-Systeme der 3D-Micromac AG sind bereits im industriellen Einsatz. 2002 gegründet, beschäftigt das Unternehmen heute über 170 Mitarbeiter. Je ein Tochterunternehmen gibt es in China, Taiwan und den USA.

Für weitere Informationen besuchen Sie bitte unsere Website unter http://www.3d-micromac.com.

Kontakt:

Mandy Gebhardt
Manager, Marketing and Public Relations
3D-Micromac AG
Tel: +49 371 40043-26
E-mail: gebhardt@3d-micromac.com